本报告以中国半导体电子气体产业为基础，采用2021年的数据，分别从产业规模
、研发和产业发展投入
、专利情况、从业人员情况
、主要电子气体产品的技术水平和应用现状等方面对中国电子气体产业进行分析和预测。报告完成于2022年6月。

目录
1    我国特种电子气体总体产业规模    1
2    特种电子气体行业研发投入情况    4
3    特种电子气体行业产业发展投入情况    5
4    特种电子气体行业拥有专利情况    6
5    特种电子气体产业从业人员情况    7
6    特种电子气体的成熟度分析    9

图表目录
图 1  2010-2022年特种电子气体行业公司销售收入增长及预测    2
图 2  2010-2022年用于半导体制造特种电子气体产品销售收入增长及预测    3
图 3  2010-2022年用于半导体制造特种电子气体在总收入中所占比例    4
图 4  2010-2021年特种电子气体行业研发投入增长情况    5
图 5  2010-2021年特种电子气体行业产业发展投入增长情况    6
图 6  2010-2021年特种电子气体行业专利数发展趋势    7
图 7  2021年特种电子气体行业人员构成（按学历）    8
图 8  2021年特种电子气体行业人员构成（按工作性质）    8
图 9  2021年刻蚀清洗气体产品成熟度    10
图 10  2021年离子注入气体产品成熟度    10
图 11  2021年成膜气体的产品成熟度    11
图 12  2021年前驱体的产品成熟度    12
表 1  2010-2022年特种电子气体行业公司销售收入增长及预测    2
表 2  2010-2022年用于半导体制造特种电子气体产品销售收入增长及预测    2
表 3  2010-2022年用于半导体制造特种电子气体在总收入中所占比例    3
表 4  2010-2021年特种电子气体行业研发投入发展趋势    4
表 5  2010-2021年特种电子气体行业产业发展投入发展趋势    5
表 6  2010-2021年特种电子气体行业专利数发展趋势    6
表 7  2021年特种电子气体行业人员构成    7