个人简介：

   刘先兵
，国家（特聘专家）
、江苏省
、苏州市三级领军人才
，苏州珂玛材料科技股份有限公司董事长兼总经理（2009～）
。博士毕业于美国康涅狄格大学机械工程系，学术研究期间曾先后担任康涅狄格大学先进制造研究所博士后研究员
、加州大学戴维斯分校博士后研究员及该校机械航空系IMS-M实验室副主任
，并被多家知名学术期刊聘为特约审稿人；企业研发管理阶段曾就职于业界知名先进陶瓷公司——美国加州硅谷LTD Ceramics. Inc, 任研发经理
，同时兼任其姊妹公司LCL International, Inc总经理。在先进陶瓷领域累计拥有近15年的海外科研、产业化及管理经验

。

演讲主题

  半导体设备用先进陶瓷材料和部件

演讲摘要

  先进陶瓷材料因其高温稳定性、化学惰性、电学特性和机械性能
，在半导体设备中扮演重要的角色
，用于各种关键应用
，包括
：晶圆的搬运夹持、加热
、吸附
，工艺气体传输，反应腔室遮蔽等

。其高度稳定的特性确保了设备在极端条件下的可靠运行，从而提高了生产效率和产品质量。随着半导体行业的不断发展和技术的不断进步，对先进陶瓷材料和部件的需求也在不断增加，一些部件的形态也发生了进化，如：陶瓷静电卡盘和陶瓷加热器从以往的单一功能部件逐渐一体化。为了满足市场需求，业界正在不断探索新的材料合成方法和制备技术，以提高材料性能。但该领域仍面临着一些挑战，如：制造工艺的复杂性及成本带来的压力。因此，未来业界将重点关注材料设计的创新和制造工艺的优化，以应对这些挑战并推动半导体工业的持续发展。